真空機(jī)組的工作原理是通過(guò)真空泵抽出容器內(nèi)的氣體，使容器內(nèi)壓力低于大氣壓，形成真空。隨著空氣分子的氣壓降低，固體或液體表面附著的氣體分子、水分子、雜質(zhì)等都會(huì)逐漸從表面散發(fā)出來(lái)，從而達(dá)到去除雜質(zhì)的目的。
　　一、組成結(jié)構(gòu)

　　真空機(jī)組是由真空泵、閥門(mén)、儀表、過(guò)濾器、冷卻器、真空箱、泄漏檢測(cè)控制系統(tǒng)等組成。其中，真空泵是真空機(jī)組的核心部件，包括機(jī)械泵、根號(hào)保持泵、渦旋分子泵等，根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景和需要，選擇不同類(lèi)型的真空泵。

　　二、應(yīng)用領(lǐng)域
　　廣泛應(yīng)用于工業(yè)、生物醫(yī)療、航空航天等領(lǐng)域。在工業(yè)生產(chǎn)中，真空機(jī)組常用于半導(dǎo)體加工、光學(xué)薄膜沉積、真空干燥、真空灌裝等。在生物醫(yī)療領(lǐng)域，真空機(jī)組可用于血液分離、真空封閉式培養(yǎng)、化學(xué)藥品冷凝等。在航空航天領(lǐng)域，真空機(jī)組是制造合金材料、制造航空器外殼、模擬航天環(huán)境等需要的工具。
　　真空機(jī)組的優(yōu)勢(shì)在于能夠在低壓下實(shí)現(xiàn)物質(zhì)表面的去污、除氧處理；消除了雜質(zhì)、細(xì)菌、病毒等因素對(duì)表面的污染。同時(shí)，由于真空狀態(tài)下熱傳遞效率降低，因此真空機(jī)組也常用于高溫材料的沉積和制備等。真空機(jī)組在諸多領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用將其地位舉足輕重，真空泵是其中核心部件，其類(lèi)型和選擇將決定機(jī)組的性能和使用范圍。